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產品詳情
旋涂機原理：
旋涂機（spin coater）是一種薄膜制備設備。在高速旋轉的基片上，滴注各類膠液，在離心力作用下，使膠液均勻地涂覆在基片表面上形成均勻的薄膜。廣泛應用于微電子、半導體、新能源、化工材料、生物材料、光學，硅片、載玻片，晶片，基片，ITO 導電玻璃等工藝制版表面涂覆等。
產品特點
u 精準驅動：搭載閉環控制伺服電機，搭配數字式增速信號反饋，轉速均勻精準，穩定可靠，從源頭保障勻膠一致性。
u 智能操控：配備7 寸全彩中英文觸摸屏，支持智能可編程操控，標配 20 組程序，單程序最多 10 個勻膠梯度，大可擴展至 100 個梯度，輕松滿足復雜工藝。
u 高效旋涂：內置水平校準裝置，大幅提升旋涂均勻度，兼容多尺寸基片。真空 / 非真空雙模式卡盤，一機兩用，靈活適配不同樣品。
u 多重防護：托盤采用三重密封結構，強效防進膠，保護核心電機，延長設備壽命。
u 防腐耐蝕：機身不銹鋼噴塑、腔體 PTFE 材質、托盤選用聚丙烯（NPP H），耐酸堿、防腐蝕，適配嚴苛工況.
u 環保潔凈：集成廢膠收集系統，減少污染殘留，保持作業環境潔凈。
u 靈活拓展：支持選配氮氣吹掃 / 保護、自動 / 簡易滴膠裝置，拓展性強。
u 廣泛適用：兼容硅片、玻璃、石英、金屬、GaAs、GaN、InP 等多種基材，應用范圍廣闊。
2024-07-26 
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